[发明专利]干燥装置有效
| 申请号： | 201910932088.3 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110657636B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 王文丽;祝福生;张伟锋;夏楠君;赵宝君;王勇威;范文斌 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | F26B3/30 | 分类号： | F26B3/30;F26B9/06;F26B25/00;F26B25/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 孙海杰 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种干燥装置，涉及硅片生产设备的技术领域，该干燥装置包括透光壳体和红外线加热装置，所述透光壳体内设置有用于放置晶圆的容腔；所述红外线加热装置发射的红外线能够穿过所述透光壳体对所述透光壳体内的晶圆进行干燥。本发明提供的干燥装置利用红外线加热装置对透光壳体进行加热，从而能够将透光壳体内的晶圆进行干燥，透光壳体具有较高穿透效率，红外线加热装置发射的红外光线能够穿透透光壳体对晶圆进行干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 装置 | ||
【主权项】：
1.一种干燥装置，其特征在于，包括透光壳体和红外线加热装置，所述透光壳体内设置有用于放置晶圆的容腔；/n所述红外线加热装置发射的红外线能够穿过所述透光壳体对所述透光壳体内的晶圆进行干燥。/n
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