[发明专利]用于密闭箱室内的真空装置在审
申请号: | 201910932146.2 | 申请日: | 2019-09-29 |
公开(公告)号: | CN110541805A | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | 张志平;张黎源;许忠政;姜正鹤 | 申请(专利权)人: | 核工业理化工程研究院 |
主分类号: | F04B39/14 | 分类号: | F04B39/14;F04B39/12;E05F15/652;E05F15/665;F16L23/20;F04B37/14 |
代理公司: | 12103 天津市宗欣专利商标代理有限公司 | 代理人: | 胡恩河<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 300180 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于密闭箱室内的真空装置,包括真空室和真空泵,真空室与真空泵之间依次连接波纹管、弯头管道和高真空管道,五者之间均设有金属密封结构;真空室安装在支架平台上;真空室前门通过前门运动机构安装于真空室上,前门运动机构与桁架固定连接,进而安装在支架平台上;真空室设有真空室底门法兰,真空室底门安装在底门升降机构上;真空室前门和真空室底门与真空室之间均设有密封圈密封结构。本发明除运动机构的门密封之外,所有的密封连接采用金属密封,保证连接可靠和真空密封;运动机构的门由电机驱动,通过动力机械手实现电机的远程检维修;密封圈保持架法兰设计有动力机械手接口,方便机械手远程操作。 | ||
搜索关键词: | 真空室 运动机构 底门 机械手 前门 支架平台 真空泵 密封圈 密封圈密封结构 金属密封结构 保持架法兰 高真空管道 电机驱动 金属密封 密封连接 升降机构 弯头管道 依次连接 远程操作 真空密封 真空装置 波纹管 门密封 密闭箱 桁架 法兰 电机 室内 维修 保证 | ||
【主权项】:
1.一种用于密闭箱室内的真空装置,其特征在于,包括安装于密闭箱室(13)内的真空室(1)以及安装于密闭箱室(13)外的真空泵(8),真空室(1)与真空泵(8)之间依次连接波纹管(5)、弯头管道(6)和高真空管道(7);所述真空室(1)和波纹管(5)、波纹管(5)和弯头管道(6)、弯头管道(6)和高真空管道(7)之间均设有金属密封结构;/n所述真空室(1)安装在支架平台(14)上;真空室前门(3)通过前门运动机构(2)安装于真空室(1)上,前门运动机构(2)与桁架(10)固定连接,进而安装在支架平台(14)上;所述真空室(1)设有真空室底门法兰,真空室底门(17)安装在底门升降机构(12)上;所述真空室前门(3)和真空室底门(17)与真空室(1)之间均设有密封圈密封结构。/n
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