[发明专利]一种光学系统装调策略验证系统有效

专利信息
申请号: 201910936881.0 申请日: 2019-09-29
公开(公告)号: CN110634372B 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 安其昌;吴小霞;林旭东;王建立;陈涛;李洪文;郭宁馨 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G09B23/22 分类号: G09B23/22
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王雨
地址: 130033 吉林省长春市*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开了一种光学系统装调策略验证系统,光源装置、第一光学元件和成像装置分别设置在位移装置上,位移装置用于分别控制光源装置、第一光学元件和成像装置的位置,并通过改变第一光学元件的位置而模拟光学系统引入位置误差;促动装置用于向第一光学元件施加力矩以模拟光学系统引入面形误差,成像装置用于接收光源装置发出的通过第一光学元件后的光并形成像,数据处理装置用于根据所成像中像点与理想像点之间的位置关系以及第一光学元件引入的位置误差或者面形误差,验证针对光学系统制定的装调策略。本发明系统用于验证针对光学系统的装调策略,能够克服现有技术存在的缺陷,对光学系统装调领域具有十分重要的意义。
搜索关键词: 一种 光学系统 策略 验证 系统
【主权项】:
1.一种光学系统装调策略验证系统,其特征在于,包括光源装置、用于模拟光学系统的第一光学元件、位移装置、促动装置、成像装置和数据处理装置,所述光源装置、所述第一光学元件和所述成像装置分别设置在所述位移装置上,所述位移装置用于分别控制所述光源装置、所述第一光学元件和所述成像装置的位置,并用于通过改变所述第一光学元件的位置而模拟光学系统引入位置误差;/n所述促动装置用于向所述第一光学元件施加力矩以模拟光学系统引入面形误差,所述成像装置用于接收所述光源装置发出的通过所述第一光学元件后的光并形成像,所述数据处理装置用于根据所成像中像点与理想像点之间的位置关系以及所述第一光学元件引入的位置误差或者面形误差,验证针对所述光学系统制定的装调策略。/n
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