[发明专利]一种可在线观测的真空检漏仪在审
| 申请号： | 201910938805.3 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110567659A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 廖洪钢 | 申请（专利权）人： | 厦门超新芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/38 | 分类号： | G01M3/38;G01N21/88 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可在线观测的真空检漏仪，包括：机体、样品座部件、抽真空装置、检测机构和同轴光调节器；样品座部件设于所述机体顶部；抽真空装置设于所述机体内侧；检测机构设于机体顶部；同轴光调节器设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光线的明亮度。本发明可在线观测样品杆/样品在真空中是否有泄漏、破损等缺陷，进行预抽真空，实现事先防止异常样品杆/样品进入电镜中，避免污染电镜环境。 | ||
| 搜索关键词： | 抽真空装置 调节器 机体顶部 在线观测 样品座 真空检漏仪 避免污染 异常样品 预抽真空 明亮度 同轴光 样品杆 轴光 破损 泄漏 拍摄 | ||
【主权项】：
1.一种可在线观测的真空检漏仪，其特征在于，该在线观测的真空检漏仪包括：/n机体；/n样品座部件，设于所述机体顶部，用于盛放透射电子显微镜样品杆；/n抽真空装置；设于所述机体内侧，且与所述样品座部件连接，用于对所述子样品座部件进行抽真空；/n检测机构，设于机体顶部，用于对样品座部件内侧的样品杆检测拍摄检测；及/n同轴光调节器，设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光线的明亮度。/n
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