[发明专利]清洗装置及涂胶显影系统在审
| 申请号： | 201910941018.4 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110665879A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 卢超;张心杰;陈浩琪;褚世骄;汪磊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;武汉京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 11438 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人： | 阚梓瑄;袁礼君 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提出一种清洗装置及涂胶显影系统。清洗装置包括供液系统、清洗系统以及控制系统。供液系统包括清洗液源及供液管路。清洗液源被配置为储存清洗液。供液管路连通于清洗液源，供液管路上设有供液阀。清洗系统包括清洗罐、清洗液喷口及输液管路。清洗罐通过供液管路连通于清洗液源，清洗罐设有第一排液阀。清洗液喷口设于涂胶显影机的清洗腔室。输液管路连通于清洗液喷口与清洗罐之间，输液管路上设有输液泵。控制系统被配置为控制供液阀、输液泵、第一排液阀和第二排液阀。通过上述设计，本公开提出的清洗装置能够实现清洗药液的自动供给和各阀件的自动切换，降低清洗装置的安全隐患和工艺不良隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗液源 清洗装置 清洗罐 清洗液喷口 供液管路 排液阀 连通 供液系统 控制系统 清洗系统 输液管路 供液阀 输液泵 涂胶显影机 安全隐患 不良隐患 清洗腔室 清洗药液 显影系统 自动供给 自动切换 供液管 清洗液 输液管 阀件 涂胶 配置 储存 | ||
【主权项】：
1.一种清洗装置，被配置为清洗涂胶显影机的清洗腔室，其特征在于，所述清洗装置包括：/n供液系统，包括：/n清洗液源，被配置为储存清洗液；及/n供液管路，连通于所述清洗液源，所述供液管路上设有供液阀；/n清洗系统，包括：/n清洗罐，通过所述供液管路连通于所述清洗液源，所述清洗罐设有第一排液阀；/n清洗液喷口，设于所述清洗腔室；及/n输液管路，连通于所述清洗液喷口与所述清洗罐之间，所述输液管路上设有输液泵；以及/n控制系统，被配置为控制所述供液阀、所述输液泵、所述第一排液阀和所述第二排液阀。/n
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