[发明专利]离子束加工设备有效
| 申请号： | 201910944160.4 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110718439B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 张学军;薛栋林;尹小林;邓伟杰;唐瓦;徐振邦;张恩阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种离子束加工设备，其包括真空舱室，所述真空舱室内设有若干机械臂、若干法拉第杯扫描装置和若干定位基准校正装置；所述机械臂一端连接有机械臂升降装置，另一端连接有离子源；所述法拉第杯扫描装置用于对所述离子源的状态进行监测；所述定位基准校正装置用于确定光学元件在空间中的精确位置。与现有技术比较本发明的有益效果在于：该离子束加工设备整体的制造成本低，该离子束加工设备的加工精度和效率高。该离子束加工设备既可以应用于大口径光学元件的加工，同时也可以将其应用于多个中等口径元件的并行加工，这样能够提高设备利用率，减少设备闲置折损。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种离子束加工设备，其特征在于，其包括真空舱室，所述真空舱室内设有若干机械臂、若干法拉第杯扫描装置和若干定位基准校正装置；所述机械臂一端连接有机械臂升降装置，另一端连接有离子源；所述法拉第杯扫描装置用于对所述离子源的状态进行监测；所述定位基准校正装置用于确定光学元件在空间中的精确位置。/n
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