[发明专利]照明条件自动校正的方法、装置、设备和存储介质在审
| 申请号： | 201910950346.0 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN112631079A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 胡立元 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F16/11;G06F16/16 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 张彬彬 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种照明条件自动校正的方法、装置、设备和存储介质。其中，照明条件自动校正的方法通过检测曝光机台的服务器上存储的校正记录文件；若待执行的照明条件设定对应的校正记录文件缺失，则根据缺失的校正记录文件的类型，进行相应的照明条件校正，并将照明条件校正得到的结果文件保存为缺失的校正记录文件的，实现自动对各个照明条件设定进行校正和确认。基于此，能够减少设备工程师进无尘室的次数，减少借机、人为操作等造成的时间损失，提高生产效率；同时，保存的照明条件设定对应的校正记录文件，可方便工艺工程师确认相关晶圆层的照明条件是否满足要求，以便执行后续的制程。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 条件 自动 校正 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910950346.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：机器人及其路径插值规划命令产生系统
- 下一篇：母线桥及母线调相方法
