[发明专利]一种SiC缺陷的检测方法和系统有效
| 申请号： | 201910951137.8 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN110889823B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 舒天宇;王雅儒;赵爱梅;高超;刘圆圆 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06V10/774 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 陈曦 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种SiC缺陷的检测方法和系统，方法包括：控制显微镜镜头移动，并拍摄有关待检测SiC片的多张图像；将所述多张图像作为输入样本，将所述输入样本发送给预先训练好的神经网络；所述神经网络以各所述输入样本为输入，输出所述待检测SiC片存在的缺陷数量以及缺陷位置。本申请能够提高SiC缺陷的检测结果的精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sic 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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