[发明专利]液位感应装置有效
| 申请号： | 201910953205.4 | 申请日： | 2019-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN110806245B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;张雷 | 申请（专利权）人： | 厦门通富微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/14 | 分类号： | G01F23/14 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种液位感应装置，主要应用于半导体制造业湿制程工艺中对液位的管控，包括：弹性体，所述弹性体内部设置有弹性通道，弹性通道设有输入口和输出口，输入口连接有刚性输入管，输出口连接有刚性输出管；在刚性输入管上设置有传感器；将弹性体放置在盛有液体的槽体内，随着弹性体在液体中深度发生变化，弹性体受到液体的压力变化发生形变从而使弹性通道发生形变而使横截面积发生变化，从而使介质流过弹性通道时的阻力发生变化，从而使传感器检测到的信号发生变化来达到检测液位的目的；本发明的方案通过液体本身的压力和弹性通道的特性完成液位感应，不受液体的粘度和结晶等因素影响，工作性能稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 装置 | ||
【主权项】：
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