[发明专利]一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池在审
| 申请号： | 201910954719.1 | 申请日： | 2019-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN110670046A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 曾鑫林;张晓攀;单伟;何胜;徐伟智 | 申请（专利权）人： | 浙江正泰太阳能科技有限公司;海宁正泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/505;C23C16/56;C23C16/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王雨 |
| 地址： | 310051 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种太阳能电池的制备方法，通过将太阳能电池前置物置于镀膜腔体内加热；将所述镀膜腔体内抽真空；向所述镀膜腔体内输入氨气与硅烷，通过射频电离法在所述太阳能电池前置物表面沉积氮化硅薄膜；其中，射频发生器的占空比为1:5至1:8，包括端点值；经过预设的沉积时间后，将所述镀膜腔体内先抽真空，再充入惰性气体；在所述镀膜腔体内对沉积过所述氮化硅薄膜的太阳能电池前置物进行退火；在经过退火处理的所述太阳能电池前置物表面设置电极，得到所述太阳能电池。本申请降低氮化硅薄膜的致密性，使电极浆料能更顺利地穿透所述氮化硅薄膜与硅形成良好的欧姆接触，提高电池的发电效率。本申请还提供了一种具有上述有益效果的太阳能电池。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 镀膜腔 氮化硅薄膜 前置 体内 抽真空 沉积 申请 氨气 退火 射频发生器 表面沉积 表面设置 电极浆料 惰性气体 发电效率 欧姆接触 退火处理 占空比 致密性 电极 电离 硅烷 射频 预设 制备 加热 穿透 电池 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：/n将太阳能电池前置物置于镀膜腔体内加热；/n将所述镀膜腔体内抽真空；/n向所述镀膜腔体内输入氨气与硅烷，通过射频电离法在所述太阳能电池前置物表面沉积氮化硅薄膜；其中，射频发生器的占空比为1:5至1:8，包括端点值；/n经过预设的沉积时间后，将所述镀膜腔体内先抽真空，再充入惰性气体；/n在所述镀膜腔体内对沉积过所述氮化硅薄膜的太阳能电池前置物进行退火；/n在经过退火处理的所述太阳能电池前置物表面设置电极，得到所述太阳能电池。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
