[发明专利]用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置有效
| 申请号： | 201910956375.8 | 申请日： | 2019-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN110541156B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 马宏图;张丽娜;李琳琳;李国庆;何伟;李帅;韩华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院自动化研究所;聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/20;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576 | 代理人： | 郭文浩;尹文会 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜制备技术，具体涉及一种用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置。为了解决现有方式得到的镀膜条带连续性、导电性差的问题，本发明提出的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置包括基体和控制部，基体上设置有：转接口，其用于使基体连接到镀膜仪上；条带运载头，其末端固定在基体上，在基体连接于镀膜仪之后，条带运载头的前端伸入到镀膜仪的真空腔内；主腔室，在基体连接于镀膜仪之后，主腔室与镀膜仪的真空腔连通；送带卷轴和收带卷轴，其位于主腔室内；控制部能够控制送带卷轴和收带卷轴转动以使条带沿条带运载头绕转，并因此使条带从送带卷轴运转到收带卷轴上。利用本发明的装置能够有效改善制备的连续导电薄膜材料表面导电性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 镀膜 制备 连续 导电 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置，其特征在于，该装置包括基体和控制部，所述基体上设置有：/n转接口，所述转接口用于使所述基体连接到镀膜仪上；/n条带运载头，所述条带运载头的末端固定在所述基体上，在所述基体连接于所述镀膜仪之后，所述条带运载头的前端伸入到所述镀膜仪的真空腔内；/n主腔室，在所述基体连接于所述镀膜仪之后，所述主腔室与所述镀膜仪的真空腔连通；/n送带卷轴和收带卷轴，所述送带卷轴和所述收带卷轴位于所述主腔室内，并且，位于所述送带卷轴上的条带绕过所述条带运载头并粘贴到所述收带卷轴；/n所述控制部能够控制所述送带卷轴和所述收带卷轴转动以使所述条带沿所述条带运载头绕转，并因此使所述条带从所述送带卷轴运转到所述收带卷轴上；其中，在所述条带沿所述条带运载头绕转的过程中，所述镀膜仪对所述条带进行镀膜。/n
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