[发明专利]一种石英坩埚制备方法有效
申请号: | 201910959337.8 | 申请日: | 2019-10-10 |
公开(公告)号: | CN110541192B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 杨俊;张涛;白枭龙;汪沛渊;何丽珠;刘礼猛;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06;C04B35/14;C04B35/64 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘新雷 |
地址: | 334000 江西省上*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种石英坩埚制备方法,由于液位线处的硅溶液与坩埚壁反应剧烈,通过相对加厚液位线处透明层的厚度,减少了透明层在硅熔液长时期处于高温区时,被腐蚀破损的可能,避免了硅溶液进入气泡层,避免了气泡层的杂质进入硅溶液之中,使得拉晶过程中的晶棒整棒率提升,品质提升,降低了单晶制备成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 坩埚 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种石英坩埚,其特征在于,包括坩埚主体以及依次设置在所述坩埚主体内壁的气泡层、透明层,所述透明层包括位于尾棒加料液位线上方的上透明分部以及设置在所述尾棒加料液位线下方的下透明分部,所述气泡层、所述透明层在所述坩埚主体的水平线以上的部分的总厚度处处相等,所述上透明分部在所述尾棒加料液位线处与所述下透明分部连接,且所述上透明分部的厚度大于所述下透明分部的厚度。/n
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