[发明专利]驱动单元测量设备和具有该设备的硅晶体生长设备有效
| 申请号： | 201910961618.7 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN112251806B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 金佑泰 | 申请（专利权）人： | 爱思开矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 朱立鸣 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种驱动单元测量设备，该设备包括：坩埚支承件，该坩埚支承件用于支承坩埚；牵拉单元，该牵拉单元用于在坩埚的上部使籽晶升高或旋转；坩埚驱动单元，该坩埚驱动单元用于使坩埚支承件旋转或升高；平头螺母，该平头螺母可拆卸地联接于牵拉单元；坩埚轴检查夹具，该坩埚轴检查夹具可拆卸地联接于坩埚驱动单元；以及位移测量单元，该位移测量单元联接于平头螺母和坩埚轴检查夹具，并测量牵拉单元和坩埚驱动单元的高度和旋转位移中的至少一个。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 单元 测量 设备 具有 晶体生长 | ||
【主权项】：
暂无信息
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