[发明专利]涂布系统在审
| 申请号： | 201910961722.6 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN111088472A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | V·戈罗霍夫斯基;G·卡马特;布赖斯·安东;K·鲁迪 | 申请（专利权）人： | 蒸汽技术公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种涂布系统，包含涂布室，该涂布室具有外围室壁、顶壁和底壁。该外围室壁限定室中心。等离子体源定位在该室中心处。该涂布系统还包含固持多个待涂布基板的样品保持器，该样品保持器可在距该室中心的第一距离处绕该室中心旋转。第一隔离屏蔽件绕该室中心定位在距该室中心的第二距离处，该第一隔离屏蔽件带负电荷。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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