[发明专利]复合式基板及其制造方法有效
| 申请号： | 201910961971.5 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN111509095B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 黄嘉彦 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： |
本发明公开一种复合式基板及其制造方法，其中该复合式基板包括一基板及一氮化铝层。基板的上表面包括多个纳米图案化凹陷，这些纳米图案化凹陷彼此分离。氮化铝层配置于基板的上表面上，其中氮化铝层的膜厚小于3.5微米，且氮化铝层的缺陷密度小于或等于5×10 |
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| 搜索关键词： | 复合 式基板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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