[发明专利]一种用于散射实验站的真空腔体组件在审
| 申请号： | 201910962120.2 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN110567997A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 洪春霞;王玉柱;滑文强;周平;李秀宏;边风刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/201;G01N23/20 |
| 代理公司： | 31002 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 余永莉 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于散射实验站的真空腔体组件，包括：真空腔体本体；连接于真空腔体本体前端的波纹管；设置于真空腔体本体后端的透光窗口，透光窗口处固定有聚酰亚胺薄膜；设置于底部的两套二维运动平台；分别通过一连接装置与二维运动平台连接的第一、第二束流阻挡器；以及分别安装于第一、第二束流阻挡器上的用于测量光强的光电二极管；其中，第一、第二束流阻挡器可同时运动或分别运动，同时满足SAXS、GISAXS以及低分辨XRR三种实验要求。该真空腔体组件可实现样品的大q值测量，并且结构简单、易于维护，束流阻挡器可灵活拆卸，满足不同用户不同实验要求；同时为实验站GISAXS实验自动化对样提供硬件条件。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔体 阻挡器 束流 二维运动平台 实验要求 透光窗口 聚酰亚胺薄膜 光电二极管 实验自动化 连接装置 散射实验 硬件条件 波纹管 测量光 两套 拆卸 分辨 测量 灵活 维护 | ||
【主权项】：
1.一种用于散射实验站的真空腔体组件，其特征在于，包括：具有一容纳空间的真空腔体本体；连接于所述真空腔体本体前端的波纹管；设置于所述真空腔体本体后端的透光窗口，所述透光窗口处固定有聚酰亚胺薄膜；设置于所述真空腔体本体内底部的两套二维运动平台；分别通过一连接装置与所述二维运动平台连接的第一束流阻挡器和第二束流阻挡器；以及分别安装于第一、第二束流阻挡器上的用于测量光强的光电二极管；其中，所述第一束流阻挡器和第二束流阻挡器可同时运动或分别运动，同时满足SAXS、GISAXS以及低分辨XRR三种实验要求。/n
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