[发明专利]振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体在审
| 申请号： | 201910963833.0 | 申请日： | 2014-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN110724917A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 山崎隆;岩本修 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C22C21/12;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体。所述振动片具有：基部；以及从所述基部沿第1方向延伸并沿与所述第1方向垂直的第2方向排列的多个振动臂，所述振动臂具有设置在沿所述第1方向以及所述第2方向的第1面上的激励电极，所述激励电极具有：配置在所述第1面侧的第1电极；配置在所述第1电极的与所述第1面侧相反的一侧的第2电极；以及配置在所述第1电极与所述第2电极之间的压电膜，所述压电膜是在晶界中含有Cu的氮化铝膜，所述第2电极由含有TiN的材料形成。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 激励电极 压电膜 振动臂 振动片 基部 面侧 配置 材料形成 氮化铝膜 电子设备 方向垂直 方向排列 方向延伸 移动体 振荡器 晶界 振子 | ||
【主权项】：
1.一种振动片，其特征在于，/n所述振动片具有：基部；以及从所述基部沿第1方向延伸并沿与所述第1方向垂直的第2方向排列的多个振动臂，/n所述振动臂具有设置在沿所述第1方向以及所述第2方向的第1面上的激励电极，/n所述激励电极具有：配置在所述第1面侧的第1电极；配置在所述第1电极的与所述第1面侧相反的一侧的第2电极；以及配置在所述第1电极与所述第2电极之间的压电膜，/n所述压电膜是在晶界中含有Cu的氮化铝膜，/n所述第2电极由含有TiN的材料形成。/n
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