[发明专利]一种平行度校准方法、装置及计算机存储介质在审
| 申请号： | 201910965041.7 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN110854052A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 刘武;丁滔滔 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李洋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种平行度校准方法、装置及计算机存储介质，所述方法包括：提供相对设置的第一晶圆与第二晶圆，第一晶圆与第二晶圆在相对位置上对应设置有至少三个不共线的标记点；提供镜头，镜头在沿中心轴预设距离处具有焦点，控制镜头移动以使焦点分别与第一晶圆和第二晶圆上的标记点重合，获取在焦点与标记点重合时镜头沿第一方向上的位置坐标；其中，镜头的中心轴与第一方向平行；基于镜头在焦点与第一晶圆上的标记点重合时的位置坐标以及镜头在焦点与第二晶圆上的对应标记点重合时的位置坐标，对第一晶圆和/或第二晶圆的位置进行调整，以实现第一晶圆和第二晶圆之间的平行度校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平行 校准 方法 装置 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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