[发明专利]一种密封装置、具有该密封装置的容器及工件处理装置在审
申请号: | 201910969367.7 | 申请日: | 2019-10-12 |
公开(公告)号: | CN112647111A | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 魏红亮;方志斌;危勇军 | 申请(专利权)人: | 昆山东威科技股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02;C25D17/00 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 徐律 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种密封装置、具有该密封装置的容器及工件处理装置,其中密封装置包括至少一个密封组件,可伸缩地设在密封通道的一侧内壁上,并相对设置的与密封通道的另一侧内壁之间形成供工件滑行的滑行通道;密封组件通过沿第二方向的伸缩运动,滑行通道的内壁在与工件的两端上的密封部件处于密封滑动连接的密封状态,密封组件背向滑行通道的外壁面抵接在各自所对应密封通道的内壁上。由于在密封状态下,密封组件的两壁面分别抵接在容器的内壁上以及密封部件之间密封滑动连接,使得容器内腔的溶液不能进入密封通道内,减小容器中的溶液经密封通道的进口端或出口端向外流出,使得容器内的溶液的液面下降幅度变慢,对后续工件处理的影响小。 | ||
搜索关键词: | 一种 密封 装置 具有 容器 工件 处理 | ||
【主权项】:
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