[发明专利]一种封装打线的键合方法有效
申请号: | 201910969417.1 | 申请日: | 2019-10-12 |
公开(公告)号: | CN110729207B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 高峰;戴伟峰 | 申请(专利权)人: | 闳康技术检测(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200120 上海市浦东新区中国(上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及芯片封装打线技术领域,公开了一种封装打线的键合方法,包括如下步骤:S1,在铝电极的待键合区域涂抹导电胶;S2,在金线的端部压设多个凹槽;S3,将金线设置有凹槽的端部埋设在导电胶内,并与铝电极抵紧;S4,通过超声波加热金线、铝电极以及导电胶,使导电胶固化,并使金线与铝电极键合;S5,截断多余的金线,采用导电胶保证铝电极与金线之间的电连接,由凹槽增加金线与导电胶之间的接触面积,从而提升金线与铝电极之间键合的稳定程度,不易脱键,可靠性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 封装 方法 | ||
【主权项】:
1.一种封装打线的键合方法,其特征在于,包括如下步骤:/nS1,在铝电极的待键合区域涂抹导电胶;/nS2,在金线的端部压设多个凹槽;/nS3,将所述金线设置有凹槽的端部埋设在所述导电胶内,并与所述铝电极抵紧;/nS4,通过超声波加热所述金线、所述铝电极以及所述导电胶,使所述导电胶固化,并使所述金线与所述铝电极键合;/nS5,截断多余的所述金线。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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