[发明专利]一种掩膜板及其制备方法有效
| 申请号： | 201910972813.X | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN110629156B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 蒋谦;陈永胜;刘志乔 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 杨瑞 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜板及其制备方法，所述掩膜板包括支撑框、支撑网以及掩膜条；所述支撑网由多个支撑架拼接组成，每个支撑架包括开口区域以及支撑条；至少一开口区域，位于所述图形区域下方；彼此平行设置的两支撑条，突出于所述开口区域，分别被设置于所述凹槽内。本发明的技术效果在于，提供一种掩膜板及其制备方法，所述掩膜板为精密掩膜板，采取异形的支撑架，并将支撑架逐一安装在支撑框上表面，形成支撑网，该支撑网用于支撑掩膜条，可以避免现有技术中支撑条旋转导致精度差的技术问题，掩膜板的制备工艺简单，加工难度低，购买成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：/n支撑框，具有多个凹槽；/n支撑网，由多个支撑架拼接组成，设于所述支撑框上表面；以及/n掩膜条，具有至少一图形区域，设于所述支撑网上表面；/n其中，每个支撑架包括：/n至少一开口区域，位于所述图形区域下方；以及/n彼此平行设置的两支撑条，突出于所述开口区域，分别被设置于所述凹槽内。/n
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