[发明专利]一种抛光垫修整设备和方法在审
| 申请号： | 201910973513.3 | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN110722456A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 白宗权 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/00 | 分类号： | B24B53/00;B24B53/02;B24B53/095 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光垫修整设备和方法，抛光垫修整设备包括：第一修整器，所述第一修整器上形成有用于修整抛光垫的第一修整面；第二修整器，所述第二修整器上形成有用于修整抛光垫的第二修整面，所述第一修整面的面积和第二修整面的面积不同。通过面积不同的第一修整面和第二修整面来修整抛光垫上的不同区域，能够对抛光垫进行分区域修整，易于实现对抛光垫的精准修整，修整效率高，提高修整效果。 | ||
| 搜索关键词： | 修整 抛光垫 修整面 修整器 抛光垫修整 分区域 面积和 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫修整设备，其特征在于，包括：/n第一修整器，所述第一修整器上形成有用于修整抛光垫的第一修整面；/n第二修整器，所述第二修整器上形成有用于修整抛光垫的第二修整面，所述第一修整面的面积和第二修整面的面积不同。/n
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