[发明专利]一种用于跨平台连接的样品密封和真空转移装置

摘要

本发明涉及材料测试技术领域，具体为一种用于电镜或微纳激光加工系统跨平台连接的样品密封和真空转移装置。该装置包括：用于连接电镜真空样品室或者激光加工系统真空腔体侧壁的矩形气密法兰、用于封装测试样品的真空密封转移盒，用于实现样品与电镜或者微纳激光加工系统衔接的高精度支架和夹具结构、用于控制真空密封转移盒的机械臂解锁机构，用于真空密封转移盒安放和更换的真空过渡仓，用于确定真空密封转移盒的开启状态的观察窗，用于观察开启的仓门。本发明可以广泛应用于各种型号扫描电镜、电子束及离子束双束电镜或微纳激光加工系统跨平台连接和真空转移，形成系统性样品装配、保护、转移和送入装置。

主权项

1.一种用于跨平台连接的样品密封和真空转移装置，其特征在于，包括：用于连接电镜或者微纳激光加工系统的真空样品室和真空过渡仓的矩形气密法兰、用于真空密封转移盒安放和更换的真空过渡仓、用于观察开启的仓门、传样杆真空管道、传样杆外部控制器、旋动解锁手动阀、磁力耦合传样杆、用于封装测试样品的真空密封转移盒、传样杆夹具、用于确定真空密封转移盒的开启状态的观察窗，具体结构如下：/n真空过渡仓为具有前通道、后通道、左通道、右通道、上通道的五通道结构，每个通道的端口处均设置法兰；真空过渡仓的前通道、后通道端口处分别安装仓门和观察窗，仓门与真空过渡仓的前通道通过法兰密封连接，观察窗与真空过渡仓的后通道通过法兰密封连接；真空过渡仓的左通道端口处法兰为矩形气密法兰；真空过渡仓的右通道端口处安装传样杆真空管道，传样杆真空管道与真空过渡仓的右通道通过法兰密封连接；真空过渡仓的上通道端口处安装旋动解锁手动阀，旋动解锁手动阀与真空过渡仓的上通道通过法兰密封连接；/n磁力耦合传样杆的一端穿过真空过渡仓的左通道、右通道，与传样杆真空管道内的滑道配合，在传样杆真空管道内往复滑动；传样杆外部控制器安装在传样杆真空管道上，磁力耦合传样杆与传样杆外部控制器通过磁力耦合方式实现非接触连接，磁力耦合传样杆通过传样杆外部控制器实现位移控制；磁力耦合传样杆的另一端安装传样杆夹具，真空密封转移盒安装在传样杆夹具上。/n