[发明专利]一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法在审
申请号: | 201910976835.3 | 申请日: | 2019-10-15 |
公开(公告)号: | CN110578167A | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 徐明;孟涛;张志强;周鹤军 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 32200 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人: | 曹翠珍;楼高潮 |
地址: | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙;15 |
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摘要: | 本发明公开了一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法,该装料方法具体为:首先在坩埚底部均匀地铺满小块硅料;然后在所述小块硅料之上采用均匀排列的方式铺设方形回收料,之后再在所述坩埚的四角位置放置晶砖回收料或堆叠的方形回收料;再将边皮回收料斜靠在所述坩埚的侧壁上,保证坩埚四面的侧壁不被露出,所述边皮回收料与坩埚侧壁之间呈线性接触,两者之间形成夹角;最后装入硅原料以及掺杂剂,完成装料。本发明的装料方法能够减少硅料由于膨胀挤压刮坏涂层的可能,同时能够降低多晶硅铸锭过程中由于硅料受热膨胀挤压破坏坩埚而发生溢流的可能性。 | ||
搜索关键词: | 回收料 坩埚 装料 硅料 坩埚侧壁 侧壁 小块 挤压 多晶硅铸锭 均匀地铺 均匀排列 受热膨胀 四角位置 线性接触 掺杂剂 硅原料 堆叠 斜靠 溢流 装入 四面 膨胀 铺设 保证 | ||
【主权项】:
1.一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法,其特征在于,包括以下步骤:/n步骤1)在坩埚底部均匀地铺满长度尺寸在3~12mm的小块硅料;/n步骤2)在所述小块硅料之上采用均匀排列的方式铺设方形回收料,之后再在所述坩埚的四角位置放置晶砖回收料或堆叠的方形回收料;/n步骤3)将边皮回收料斜靠在所述坩埚的侧壁上,保证坩埚四面的侧壁不被露出,所述边皮回收料与坩埚侧壁之间呈线性接触,两者之间形成的夹角<10°;/n步骤4)装入硅原料以及掺杂剂,完成装料。/n
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