[发明专利]能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法有效
| 申请号： | 201910977065.4 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110512279B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 梁万亮;马国忠;丁亚国;顾燕滨;河野贵之 | 申请（专利权）人： | 宁夏银和新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 郑重;孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，属于单晶硅生产技术领域。该方法以设定温度进入收尾，收尾初期埚升继续按埚跟比计算设定，待收尾完成，获取第一收尾晶棒，在第一收尾晶棒的尾部部分等分划线，并获取第一收尾坐标谱图，将第一收尾晶棒放置与第一收尾坐标谱图上，根据收尾快或慢的趋势调整温度和拉速，如此重复几次，即可调整出完全无需人员干预的收尾工艺。明显提高了收尾成功率，且收尾过程不需人员干预，减少人员操作强度。更为重要的是，使用该方法获取的参数数据克服了外在因素的影响，对同批次的单晶硅棒收尾效果更佳，同时，得到的单晶硅棒尾部平滑过度，形状规整，应力降低，不易损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 提高 收尾 成功率 单晶炉 方法 | ||
【主权项】：
1.一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，其特征在于：包括以下步骤：/na. 以预定拉速作为单晶硅棒进入收尾的拉速；/nb. 根据单晶硅棒直径与坩埚内径的比值控制埚升；/nc. 以步骤a、步骤b 的方法完成第一次收尾，并获得第一收尾晶棒，对第一收尾晶棒的尾部等比例划线；以第一次收尾的单晶硅棒的长度为X轴，分别以第一次收尾的收尾温度、收尾拉速为Y轴，获取第一收尾坐标谱图；/nd. 将等比例划线的第一收尾晶棒放置与第一收尾坐标谱图上，并使得第一收尾晶棒的轴线平行第一收尾坐标谱图的X轴，此时，根据第一收尾晶棒的异形趋势对对应长度处的收尾温度或收尾拉速进行调整，获得第一次调整后收尾温度与收尾拉速数据；/ne. 以第一次调整后收尾温度与收尾拉速数据完成第二次收尾，重复上述步骤c、步骤d，获得第二次调整后收尾温度与收尾拉速数据；/nf. 参考步骤c、步骤d、步骤e，以第N次调整后收尾温度与收尾拉速数据完成第（N+1）次收尾，直至所得第N收尾晶棒的尾部形状规整，其中N为≥1的整数；/ng. 以第N次调整后收尾温度与收尾拉速数据作为单晶炉收尾控制参数，投入生产。/n
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