[发明专利]柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管及其制备方法有效
| 申请号： | 201910977844.4 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110838519B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 徐旻轩;李馨;金成超;何志伟;张骐 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/22 | 分类号： | H01L29/22;H01L29/24;H01L29/732;H01L21/34;H01L31/0296;H01L31/032;H01L31/11;H01L41/08;H01L41/113;H01L41/18 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杨舟涛 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管，该结构为从上到下依次为发射极、基极、集电极、柔性导电衬底；所述的柔性导电衬底为柔性衬底上设有导电层；所述的发射极材料为ZnO，所述的基极材料为NiO，所述的集电材料为ZnO，所述的发射极、基极、集电极的一侧对齐，所述的发射极和柔性衬底的导电层上设有电极。本发明通过压电效应与半导体能带工程的耦合作用实现该晶体管在光电探测，力电传感以及纳米发电等多种功能化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 zno nio 多功能 三极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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