[发明专利]金属薄膜预对准装置、金属薄膜预对准方法及张网设备在审
| 申请号： | 201910978732.0 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112662990A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 吴福龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属薄膜预对准装置、金属薄膜预对准方法及张网设备，该金属薄膜预对准装置包括：支撑框架、支承板、回转轴承和驱动电机，回转轴承设置在支撑框架和支承板之间，且回转轴承的外圈与支撑框架连接，回转轴承的内圈与支承板连接，驱动电机包括电机定子和电机动子，电机定子与支撑框架连接，电机动子与支承板连接，电机动子被配置为能够在电机定子的驱动下带动支承板绕回转轴承的中心转动。上述的金属薄膜预对准装置能够有效提高张网设备的工作效率、降低张网设备的使用成本。相应地，本发明还提供一种金属薄膜预对准方法及张网设备。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 薄膜 对准 装置 方法 设备 | ||
【主权项】：
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