[发明专利]发光器件及其有机缓冲封装层与制作方法

摘要

本发明涉及一种发光器件及其有机缓冲封装层与制作方法，该制作方法通过等离子体增强化学气相沉积工艺制作有机缓冲封装层，先采用渐变的射频功率、射频频率或射频占空比形成第一缓冲层，再在第一缓冲层上形成第二缓冲层。以第一缓冲层制作过程中射频功率的变化为例，在第一阶段，因刚开始功率较高，有机源的汽化气体的解离率较高，更容易被分解，所形成的薄膜中不容易产生有机源不完全裂解或不均匀聚合形成的杂质、灰尘或非目标聚合物，第二阶段形成有机缓冲封装层的主体部分，这一阶段因总体功率较低，薄膜的含碳量较高，但因为前期在第一阶段时有较多的碳化物作铺垫，薄膜的沉积环境有所改变，此时即使功率较低，也不会产生杂质、灰尘或非目标聚合物。