[发明专利]太阳能电池以及制造用于太阳能电池的膜层结构的方法

摘要

本公开涉及包括太阳能电池以及制造用于太阳能电池的膜层结构的方法。该太阳能电池包括膜层结构，该膜层结构包括硅基体、第一氧化铝层、第一氮化硅层以及第一二氧化硅层。该硅基体包括与该太阳能电池的正表面邻近的第一表面、和与该太阳能电池的背电场邻近的第二表面。该第一氧化铝层与该硅基体邻接，并且设置在该硅基体的该第二表面。该第一氮化硅层，设置在该第一氧化铝层的与该背电场邻近的一侧。该第一二氧化硅层，设置在该第一氧化铝层和该第一氮化硅层之间、或者设置在该第一氮化硅层的与该背电场邻近的一侧。根据本公开的实施例，太阳能电池的背面可以具有良好的抗电势诱导衰减性能。