[发明专利]一种多个杯子测量离子束流垂直角度的方法在审
| 申请号： | 201910980740.9 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112666593A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 王肇龙 | 申请（专利权）人： | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;G01R19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种利用角度法拉第测量离子束流垂直方向整体角度的方法，这种方法通过同时选择7个相同的角度法拉第杯子，利用其栅格上的电流探测器采集终端靶室内的束流，并将得到的流强数据保存，利用发明的算法程序加以拟合，计算出较为准确的垂直角度。本方法可以测量离子束流的垂直方向角度，同时通过采集的数据图像可以直观地、定性地反映离子束流是否稳定，以及垂直方向发散程度；且一次采用7个杯子对束流进行采集，相比单一杯子多次测量，大大节省了测量和计算时间，提高了终端测量效率。本发明涉及离子注入装置及拟合算法，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 杯子 测量 离子束 垂直 角度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京烁科中科信电子装备有限公司，未经北京烁科中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910980740.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
