[发明专利]一种消除电极电荷积累的方法在审
| 申请号： | 201910981013.4 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112670149A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 金洲 | 申请（专利权）人： | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种消除电极电荷积累的方法，用恒流电源不断提供的电荷来中和电极积累的异性电荷，保证电极的电位稳定。本方法涉及离子注入机，属于半导体器件制造领域。高压电源A(1)输出直流正电压，提供给电极A(2)正电位，用于离子束的加速并使其获得能量，高压电阻A(4)构成回路，恒流电源A(5)提供的电子(7)用于中和电极A上所积累的正电荷(6)，保证电极A上电位的稳定。高压电源B(8)输出直流负电压，提供给电极B(9)负电位，用于抑制离子束中电子的发散，高压电阻B(9)构成回路，恒流电源B(11)提供的正电荷(13)用于中和其上所积累的电子(12)，保证电极B上电位的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 消除 电极 电荷 积累 方法 | ||
【主权项】：
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