[发明专利]铟锡镍氧化物靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201910981520.8 | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN112626469B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 柯伯贤;谢承谚;简毓苍;刘砚鸣 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 张德斌;闫加贺 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种铟锡镍氧化物靶材及其制造方法。其中，所述铟锡镍氧化物靶材是由铟、锡、镍及氧所组成，其中镍相对于铟、锡和镍的总和的含量和大于0原子百分比且小于或等于3原子百分比，且该铟锡镍氧化物靶材的平均体电阻率小于2×10 |
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| 搜索关键词： | 铟锡镍 氧化物 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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