[发明专利]基板输送装置和基板输送方法有效
| 申请号： | 201910983507.6 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN110729215B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 林徳太郎 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用于以较高的输送可靠性一并输送多张基板的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置包括：基座；保持部；至少3个检测部；以及控制部。保持部以相对于基座进退自如的方式设置且能够多层地保持多张基板。检测部用于分别在不同的位置对由保持部保持着的基板的外缘进行检测。控制部根据检测部的检测结果来推断基板的位置，并对推断出的基板的位置与预先决定的基准位置之间的偏离量进行计算，在判断为计算出的偏离量在阈值以内的情况下，执行由保持部保持着的多张基板的输送。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板输送装置，其特征在于，/n该基板输送装置包括：/n基座；/n保持部，其以相对于所述基座进退自如的方式设置且能够上下多层地保持多张基板；/n检测部，其至少设有3个，所述检测部配置于所述保持部的上方或下方，用于分别在不同的位置对由所述保持部保持着的所述多张基板的外缘进行检测；以及/n控制部，其根据至少设有3个的所述检测部所检测的所述多张基板的外缘的检测结果来计算假想的基板的位置，并对计算出的所述假想的基板的位置与预先决定的基准位置之间的偏离量进行计算，并进行判断计算出的偏离量是否在阈值以内的错位判断处理，在所述错位判断处理中判断为所述偏离量在阈值以内的情况下，执行由所述保持部保持着的所述多张基板的输送。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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