[发明专利]一种干燥装置有效
| 申请号： | 201910984956.2 | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN110849082B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 宋媛媛 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B25/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 李汉亮 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本揭示提供一种干燥装置。所述干燥装置包括容纳腔以及位于所述容纳腔内的底盘、冷板以及抽气阀门。所述冷板设置于所述底盘上方且与所述底盘相对设置。本揭示通过在所述冷板上涂布亲油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料环绕所述亲油性材料，且所述底盘在所述冷板上的投影区域对应所述亲油性材料，避免冷凝气凝结后滴落污染基板；且互补边缘蒸发快的缺点，保证溶剂均匀蒸发。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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