[发明专利]一种晶体生长提拉升降装置及其工作方法在审
申请号: | 201910986714.7 | 申请日: | 2019-10-17 |
公开(公告)号: | CN110528071A | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 孙友轩;黄东阳;岳跃忠;高泽亮;陶绪堂 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 37219 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵龙群<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 250199 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种晶体生长提拉升降装置及其工作方法,属于晶体生长设备领域,包括水平调节装置、竖直调节装置、径向旋转装置和微提拉装置;水平调节装置包括固定板和水平滑轴,竖直调节装置包括提拉箱体,提拉箱体固定连接径向旋转装置,径向旋转装置固定连接一水平连接板,水平连接板上设置有微提拉装置,微提拉装置上固定连接有一水平支撑板,水平支撑板上设置有晶转电机,晶转电机的输出轴通过轴承连接有籽晶杆,籽晶杆下入到炉体内坩埚的高温熔融物中。本发明在晶体生长过程中可以根据情况自由灵活调节升降提拉装置的位置,同时又保证装置的稳定性,在晶体生长过程中可以随时调整位置,在生长完成后可以顺利将晶体位置调整和提出。 | ||
搜索关键词: | 提拉装置 径向旋转 提拉 晶体生长过程 竖直调节装置 水平调节装置 水平连接板 水平支撑板 籽晶杆 电机 晶体生长设备 高温熔融物 保证装置 调整位置 晶体生长 晶体位置 升降装置 水平滑轴 轴承连接 装置固定 固定板 输出轴 坩埚 升降 体内 生长 灵活 自由 | ||
【主权项】:
1.一种晶体生长提拉升降装置,其特征在于,包括水平调节装置、竖直调节装置、径向旋转装置和微提拉装置;/n所述水平调节装置包括一固定板和能够相对于固定板左右移动的水平滑轴,所述竖直调节装置的底部固定于水平滑轴上,所述竖直调节装置包括一提拉箱体,能够沿竖直方向的支撑杆上下移动,所述提拉箱体固定连接径向旋转装置,所述径向旋转装置固定连接一水平连接板,水平连接板上设置有微提拉装置,微提拉装置上固定连接有一水平支撑板,水平支撑板上设置有晶转电机,所述晶转电机的输出轴通过轴承连接有籽晶杆,籽晶杆下入到炉体内坩埚的高温熔融物中。/n
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