[发明专利]一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法在审
申请号: | 201910986748.6 | 申请日: | 2019-10-17 |
公开(公告)号: | CN110643327A | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 杨华;秦光临;陆昌程 | 申请(专利权)人: | 江苏吉星新材料有限公司 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 32200 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人: | 唐循文 |
地址: | 212200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法,属于蓝宝石表面处理技术领域。所述方法具体制备过程如下:取碳化硼微粉、金刚石微粉和氧化铝空心球混匀后放入放电等离子烧结炉中退火处理,保持真空恒压的条件下程序升温至1350‑1450℃温度保持10‑15 min后自然冷却至100℃以下;将冷却后混合物放入球磨机中研磨;研磨后混合物中加入去离子水配置成混合液;混合液在室温下搅拌后得到蓝宝石晶片研磨液。本发明所述方法将碳化硼微粉、金刚石微粉和微米级氧化铝空心球经过退火处理后起到协同增效作用,制备的研磨液能够增加材料去除率、降低研磨后材料表面粗糙度。 | ||
搜索关键词: | 研磨 研磨液 金刚石微粉 蓝宝石晶片 退火处理 混合物 混合液 碳化硼 放入 微粉 制备 球磨机 放电等离子烧结炉 材料表面粗糙度 微米级氧化铝 协同增效作用 氧化铝空心球 材料去除率 蓝宝石表面 程序升温 去离子水 温度保持 制备过程 空心球 恒压 混匀 冷却 配置 | ||
【主权项】:
1.一种蓝宝石晶片研磨液的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:/n步骤一.取5-10质量份碳化硼微粉、2-4质量份金刚石微粉和1-2质量份氧化铝空心球混匀后放入放电等离子烧结炉中退火处理,保持真空恒压的条件下程序升温至1350-1450℃温度保持10-15 min后自然冷却至100℃以下,恒压范围为15-20 MPa;/n步骤二.将步骤一冷却后混合物放入球磨机中研磨至粒径为40-60 μm;/n步骤三.向步骤二研磨后混合物中加入去离子水配置成混合液,研磨后混合物和去离子水的质量比为(10-20):100;/n步骤四.将步骤三中混合液在室温下搅拌20-30 min后得到蓝宝石晶片研磨液。/n
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