[发明专利]一种用于等离子体装置的样品台有效
| 申请号： | 201910992808.5 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN110752134B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 陈晓莉;李波;吴杰峰;韦俊 | 申请（专利权）人： | 合肥聚能电物理高技术开发有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/18 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 李慧 |
| 地址： | 230031 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于等离子体装置的样品台，包括样品座，样品座上开设有多个样品材料放置腔，样品座一侧开设有用于将其推入真空室的样品座推送装置，所述样品座包括基板，基板顶面中心嵌设有下绝缘件，下绝缘件顶面呈外圆弧状，两端对称设有互为间隔的上绝缘件，样品材料放置腔由下绝缘件与两个上绝缘件之间所形成的空间而构成，上绝缘件朝向样品材料放置腔的端面呈内圆弧状。本发明利用样品材料本身的预应力不同直接影响着离子入射能量的原理，通过利用夹持其的绝缘件等结构，能够有效的控制样品材料预应力的变化，从而达到了控制离子入射能量的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 等离子体 装置 样品 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子体装置的样品台，包括样品座，其特征在于：所述样品座上开设有多个样品材料放置腔，样品座一侧开设有用于将其推入真空室的样品座推送装置，所述样品座包括基板，基板顶面中心嵌设有下绝缘件，下绝缘件顶面呈外圆弧状，两端对称设有互为间隔的上绝缘件，样品材料放置腔由下绝缘件与两个上绝缘件之间所形成的空间而构成，上绝缘件朝向样品材料放置腔的端面呈内圆弧状，上绝缘件的另一面设有防辐射板，防辐射板上开设有用于露出样品材料放置腔的缺口，防辐射板外设有用于调整上绝缘件对样品材料放置腔中样品材料压紧力度的压紧装置，基板的底面设有冷却装置。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥聚能电物理高技术开发有限公司，未经合肥聚能电物理高技术开发有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910992808.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
