[发明专利]一种生物传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201910996342.6 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN110715969B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 卢瀚仑;陈志涛;刘宁炀;任远;梁锡辉 | 申请（专利权）人： | 广东省半导体产业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414;H01L29/778 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 董艳芳 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种生物传感器及其制作方法，涉及半导体技术领域。首先基于一衬底制作生物传感器的本体结构，其中，所述本体结构包括栅电极层，然后沿所述栅电极层外延生长过渡层，并对所述过渡层进行刻蚀，以在所述过渡层的表面形成多个凸起，最后沿所述过渡层的表面偶联生物活性分子，以形成所述生物传感器，其中，所述生物活性分子分布于每个凸起的表面和/或每两个凸起之间。本申请提供的生物传感器及其制作方法具有承载的生物活性分子的量更加灵活的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生物 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种生物传感器制作方法，其特征在于，所述方法包括：/n基于一衬底制作生物传感器的本体结构，其中，所述本体结构包括栅电极层；/n沿所述栅电极层外延生长过渡层；/n对所述过渡层进行刻蚀，以在所述过渡层的表面形成多个凸起；/n沿所述过渡层的表面偶联生物活性分子，以形成所述生物传感器，其中，所述生物活性分子分布于每个凸起的表面和/或每两个凸起之间。/n
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