[发明专利]一种内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器有效
| 申请号： | 201910998143.9 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110592557B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;王殿春;吴思华;孙蕾;赵旭荣 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/26;C23C16/56;H05B3/14 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 王楠;周慰曾 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器，属于加热器技术领域，装置包含PBN基体、PG涂层电路以及PBN涂层保护层；PBN基体内部中空，PBN基体内壁上设有PG涂层电路，PG涂层电路与PBN基体的内表面贴合，PBN涂层保护层附于PG涂层电路上，通过化学气相沉积制备PBN基体，通过雕刻沉积PG涂层制备电路，最终得到内表面加热的加热器，大幅度提高加热器加热的均匀性，热量损失小，耗能低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 沉积 立体 复合 陶瓷 加热器 | ||
【主权项】：
1.一种内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器，其特征在于，从外到内包含PBN基体、PG涂层电路以及PBN涂层保护层；/nPBN基体内部中空，PBN基体内壁上设有PG涂层电路，PBN涂层保护层附于PG涂层电路上。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
