[发明专利]一种晶圆加工减薄机有效
| 申请号： | 201910998748.8 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110774077B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王春宏 | 申请（专利权）人： | 无锡芯坤电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06;B24B27/00;B24B55/00;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214021 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆加工减薄机，其结构包括遮盖、研磨头、开合器、吸盘结构、机体、控制面板，机体前端面上设有控制面板，机体顶端一侧活动安装有遮盖，遮盖和机体之间开安装有开合器，遮盖内壁正中间安装有研磨头，和研磨头相对应的机体顶端面上安装有吸盘结构，吸盘结构和研磨头相互配合，本发明通过吸盘上的气管设计，将吸盘上的吸口独立分化，当受力碎裂，无论晶圆从哪个方向裂开，都能够被吸附，不会因为失去吸力而掉落在桌面上，二次开裂，本发明的堵头设计吗，在不使用或者减少气管时，堵住吸盘的安装孔，减少空气粉尘地进入造成堵塞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 减薄机 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆加工减薄机，其特征在于：其结构包括遮盖（1）、研磨头（2）、开合器（3）、吸盘结构（4）、机体（5）、控制面板（6），所述机体（5）前端面上设有控制面板（6），所述机体（5）顶端一侧活动安装有遮盖（1），所述遮盖（1）和机体（5）之间开安装有开合器（3），所述遮盖（1）内壁正中间安装有研磨头（2），和研磨头（2）相对应的机体（5）顶端面上安装有吸盘结构（4），所述吸盘结构（4）和研磨头（2）相互配合；/n所述吸盘结构（4）设有输气器（41）、吸盘（42）、气管（43），所述吸盘（42）位于输气器（41）正上方，所述输气器（41）和吸盘（42）活动卡合，所述吸盘（42）上设有两个以上的气管（43），所述气管（43）和吸盘（42）活动卡合。/n
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