[发明专利]一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法在审
| 申请号： | 201910998916.3 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110640613A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;张群;廖龙兴;史全 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B31/00 | 分类号： | B24B31/00;B24B31/10;B24B31/12;B24B47/12;C09G1/02 |
| 代理公司： | 21200 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 温福雪;梅洪玉 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法，通过采用一带有螺纹的长条形转轴，与样品池连接，再用垫片和螺母将其锁紧；样品池内外均填满了抛光液和磨粒，转轴在电机的驱动下带动样品池一起旋转，从而完成其内外圆柱面的抛光。其中所述抛光液主要成分为双氧水、磷酸、壳寡糖、苯骈三氮唑，磨粒为碳化硅。本发明的优势在于：能有效减小细长薄壁样品池的变形，一次同时抛光内外两个表面，抛光效率高，此外，该加工方式抛光出的样品池内外圆柱表面的同轴度及光洁度均非常高。 | ||
| 搜索关键词： | 样品池 抛光 抛光液 薄壁 磨粒 转轴 光洁度 双氧水 化学机械抛光 螺母 苯骈三氮唑 抛光效率 圆柱表面 长条形 壳寡糖 碳化硅 同轴度 磷酸 螺纹 纯铜 垫片 减小 锁紧 填满 种筒 变形 电机 驱动 加工 | ||
【主权项】：
1.一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：/n步骤一：采用一带有螺纹的长条形转轴，与样品池连接，再用垫片和螺母将其锁紧；/n步骤二：配制化学机械抛光液，并缓慢倒入一容器内；；/n步骤三：当样品池被抛光液完全浸泡后，使样品池开始做旋转运动，进行化学机械抛光；样品池旋转速度为120～160rpm，抛光时间为45～90min。/n
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