[发明专利]单品硅热场坩埚用生产智能加工设备及其加工方法

摘要

本发明公开了单品硅热场坩埚用生产智能加工设备，包括保温筒和机械桁架，所述机械桁架的上方设置有固定横梁，所述固定横梁上设置有横梁滑轨，所述固定横梁的左右两端上均设置有固定滑座，所述固定滑座的下方设置有伸缩夹持臂，所述固定横梁中间位置处的下方设置有顶部轴承，所述顶部轴承的下方设置有上炉腔；本发明还提出了一种单品硅热场坩埚用生产智能加工设备的加工方法；本发明不仅解决了制备过程中因高温导致的不方便对其进行移动的问题，还对原有的设备加工单品硅进行改善，使得单品硅制备加工出来的纯度高，杂质少，给加工生产带来便捷，从而达到方便对设备进行移动调节，制备出的产品更加优质的目的。

主权项

1.单品硅热场坩埚用生产智能加工设备，包括保温筒（1）和机械桁架（17），其特征在于：所述机械桁架（17）的上方设置有固定横梁（4），所述固定横梁（4）上设置有横梁滑轨（3），所述固定横梁（4）的左右两端上均设置有固定滑座（2），所述固定滑座（2）的下方设置有伸缩夹持臂（20），所述固定横梁（4）中间位置处的下方设置有顶部轴承（5），所述顶部轴承（5）的下方设置有上炉腔（6），所述上炉腔（6）的下方设置有隔离阀（7），所述隔离阀（7）的下方设置有保温筒（1），所述隔离阀（7）的下方位于保温筒（1）的内部顶端设置有单晶硅棒（8），所述单晶硅棒（8）的右侧设置有导流筒（9），所述单晶硅棒（8）的下方设置有石英坩埚（10），所述石英坩埚（10）的下方设置有石墨坩埚（11），所述石墨坩埚（11）的外部设置有防护套（19），所述石墨坩埚（11）的左右两侧均设置有加热器（18），所述石墨坩埚（11）的下方设置有坩埚底座（12），所述坩埚底座（12）中间位置处的下方设置有中心轴（16），所述中心轴（16）的底端设置有底部轴承（15），所述中心轴（16）的底端左右两端位于加热器（18）的下方设置有石墨电极（13），所述中心轴（16）的下方设置有底座防护板（14），所述保温筒（1）的内部上方位置处设置有加热腔（22），所述加热腔（22）的下方设置有铸锭炉（21），所述铸锭炉（21）的下方设置有水箱（27），所述水箱（27）的左右两侧均设置有导向柱（24），所述水箱（27）的下方设置有拖车（23），所述拖车（23）的下方设置有托盘架（25），所述托盘架（25）的左右两侧对应设置有支架（26），所述中心轴（16）靠近底端位置处设置有中轴器（29），所述中轴器（29）的左侧设置有顶升机（28），所述中轴器（29）的右侧设置有电机（30），所述电机（30）的右侧设置有导向板（31），所述加热器（18）的上下两端均设置有加热器固定座（32），所述机械桁架（17）、加热器（18）和电机（30）均与外部电源电性连接。/n