[发明专利]一种IC封装基板表面电镀铜均匀性的处理方法在审

专利信息
申请号: 201911001577.3 申请日: 2019-10-21
公开(公告)号: CN110565128A 公开(公告)日: 2019-12-13
发明(设计)人: 居永明 申请(专利权)人: 深圳市正基电子有限公司
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38;C25D5/34;C25D5/08;C25D17/00;C23G1/10;C23F1/18;C23C18/00
代理公司: 44273 深圳市嘉宏博知识产权代理事务所 代理人: 孙强
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种IC封装基板表面电镀铜均匀性的处理方法,其包括如下步骤:第一步、将覆铜层叠板放入烤炉中进行烤板,第二步、对第一步中经过烤板后的覆铜层叠板,依次进行减铜作业、钻孔作业和孔化作业后,得到半成品板体,第三步、对第二步中的半成品板体的表铜层进行电镀铜作业。
搜索关键词: 半成品板体 层叠板 覆铜 烤板 表面电镀 钻孔作业 电镀铜 均匀性 表铜 放入 烤炉
【主权项】:
1.一种IC封装基板表面电镀铜均匀性的处理方法,其特征在于,包括如下步骤:/n第一步、将覆铜层叠板放入烤炉中进行烤板,/n第二步、对第一步中经过烤板后的覆铜层叠板,依次进行减铜作业、钻孔作业和孔化作业后,得到半成品板体,/n第三步、对第二步中的半成品板体的表铜层进行电镀铜作业,/n其具体步骤为:/n步骤1、将半成品板体投入除油槽中进行清洁,本步骤的作用是除去半成品板体铜面轻微氧化物以及调整孔内电荷,使得在后续过程中,处理药液能够顺利与铜面发生作用,/n步骤2、将半成品板体从除油槽中取出用清水进行清洗后,将半成品板体投入微蚀槽中进行微蚀处理,/n步骤3、将半成品板体从微蚀槽中取出用清水清洗后,将半成品板体投入酸洗槽中进行酸洗处理,/n步骤4、将经过酸洗作业后的半成品板体投入铜槽中,进行电镀作业,在半成品板体的表铜层上镀一层铜形成镀铜层,便于线路在该镀铜层上的制作,在进行电镀作业时,铜槽中的温度控制在20℃至30℃之间,/n电镀铜作业的具体步骤为,/n首先,控制铜槽的体积在10立方米至15立方米之间,在铜槽内加入槽体积1/2的纯水、2500-3000kg的硫酸并在钛篮中加满铜球,铜球用以提供铜离子,当铜槽内硫酸含量为184g/L-216g/L、硫酸铜含量为68g/L-87g/L和氯离子含量为42ppm-58ppm时,进行电镀铜作业,/n电镀铜作业的时间控制在30分钟至45分钟,电流密度控制在0.8ASD至3.0ASD之间,铜槽药液的喷淋流量控制在27HZ-33HZ,PCM光剂自动添加,添加量为1000AH添加350ml,/n在完成电镀铜作业后,半成品板体上镀铜层上铜厚极差值控制在4um之内,/n步骤5、对完成镀铜作业的半成品板体进行清洗和烘干,烘干的温度为73℃至77℃,后得到成品,/n如上所述步骤4中,该铜槽为一种电荷均匀分布的基板电镀槽,其包括槽体、两块阳极挡板以及阴极夹,其中,该槽体具有一槽腔,该槽体包括底板、两面侧板以及两面端板,两面该侧板以及两面该端板同时连接在该底板上,借助该底板、两面该侧板以及两面该端板围绕形成该槽腔,/n两块该阳极挡板被架设在该槽腔中,在两块该阳极挡板之间形成一置板区,在一块该阳极挡板与其对侧的该侧板之间形成一回流区,/n该阳极挡板上开设有若干混流通孔,若干该混流通孔排列设置在该阳极挡板上形成若干横向孔列,组成该横向孔列中的该混流通孔的孔径,从该阳极挡板顶部向该阳极挡板底部递减,每一个该混流通孔都连通在该置板区与该回流区之间,每一个该混流通孔中都装配有便拆堵头,当该便拆堵头插设在该混流通孔中的时候,该混流通孔闭合,当该便拆堵头被拔出时,该混流通孔连通在该置板区与该回流区之间,该阴极夹夹持半成品板,半成品板置于该置板区中。/n
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