[发明专利]一种方向性可控的磁控溅射镀膜装置在审
| 申请号： | 201911005878.3 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN110592547A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 柳蕾;张丽 | 申请（专利权）人： | 武汉奥亿特科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周琼 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种方向性可控的磁控溅射镀膜装置，包括箱体和底板，底板的顶部固定连接有支撑块，并且支撑块的顶部与箱体的底部固定连接，箱体背面的顶部固定连接有电机，电机输出轴的一端固定连接有转动杆，转动杆远离电机的一端贯穿箱体并延伸至箱体的内部，本发明涉及镀膜装置技术领域。该方向性可控的磁控溅射镀膜装置，通过电机工作能够带动转动板转动，从而调整靶材的倾斜角度，使靶材原子的运动方向能够来回变换，靶材原子能够均匀的附着在工件的表面，不会堆积在同一个地方，使镀膜更均匀，提高加工质量，且该装置能够适用于不同厚度的靶材，提高了实用性，限位板能够对靶材起到保护作用，安全性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射镀膜装置 底板 电机 靶材原子 可控的 转动杆 靶材 电机输出轴 镀膜装置 限位板 转动板 支撑 镀膜 对靶 附着 转动 堆积 贯穿 延伸 加工 | ||
【主权项】：
1.一种方向性可控的磁控溅射镀膜装置，包括箱体(1)和底板(2)，所述底板(2)的顶部固定连接有支撑块(3)，并且支撑块(3)的顶部与箱体(1)的底部固定连接，其特征在于：所述箱体(1)背面的顶部固定连接有电机(4)，所述电机(4)输出轴的一端固定连接有转动杆(5)，所述转动杆(5)远离电机(4)的一端贯穿箱体(1)并延伸至箱体(1)的内部，所述转动杆(5)位于箱体(1)内部的一端通过轴承与箱体(1)内壁的正面转动连接，所述转动杆(5)的表面且位于箱体(1)的内部固定连接有扇形齿牙板(6)，所述箱体(1)内壁的正面与背面之间且位于转动杆(5)的正下方转动连接有活动杆(7)，所述活动杆(7)的表面固定连接有与扇形齿牙板(6)相啮合的齿轮(8)，所述活动杆(7)表面的前后均固定连接有连接块(11)，并且两个连接块(11)的两侧均固定连接有转动板(9)，所述箱体(1)内壁两侧的顶部均固定连接有弧形滑轨(10)，所述转动板(9)的正面与背面均固定连接有与弧形滑轨(10)相适配的T形块(12)。/n
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