[发明专利]一种基于集成有源放大器芯片的谐振传感器有效
| 申请号： | 201911010238.1 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110940863B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 周永金;李巧玉 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26;G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘凤玲 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于集成有源放大器芯片的谐振传感器。该传感器包括：第一金属介质层、仿空气介质层、第二金属介质层和激励层，所述激励层上依次覆盖所述第二金属介质层、仿空气介质层和第一金属介质层。所述第一金属介质层包括有源放大器芯片。采用本发明能够提高传感器的分辨率和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 集成 有源 放大器 芯片 谐振 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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