[发明专利]一种高精度激光干涉仪在审
| 申请号： | 201911011147.X | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110763135A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 张白;刘杰;杨来龙;王鹤 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 11590 北京市领专知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张玲;陈益思 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高精度激光干涉仪，包括读数头、以及分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组，所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置，所述读数头包括激光源、分光镜、反射镜、移动直角反射镜组、聚光透镜、光电探测器。反射激光和透射激光这两路激光束经聚光透镜入射至光电探测器后发生干涉，光电探测器对干涉现象进行检测即可获得读数头对于第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组的相对位移量；读数头在移动时，干涉激光实现了差分效果，两路干涉激光中的其中一束激光光程在减小时，另一束激光光程必然在增大，提高了干涉激光光程差的放大倍数，从而提高了激光干涉仪的干涉位移测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 反射镜组 固定直角 读数头 光电探测器 激光光 干涉 聚光透镜 两路 干涉现象 激光 镜像对称设置 高精度激光 相对位移量 直角反射镜 反射激光 激光干涉 透射激光 位移测量 反射镜 分光镜 干涉仪 激光束 激光源 移动 程差 入射 放大 检测 | ||
【主权项】：
1.一种高精度激光干涉仪，其特征在于：包括：读数头、分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组，所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置；/n所述读数头包括：/n激光源，用于发射激光束；/n分光镜，用于接收激光源发射的激光束，并将接收到的激光束反射/透射至反射镜，以及透射/反射至移动直角反射镜组；/n反射镜，用于接收分光镜反射/透射的激光束，并将接收到的激光束反射至移动直角反射镜组；/n移动直角反射镜组，设置于第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组之间，用于接收反射镜反射的激光束，以及分光镜透射的激光束，并将反射镜反射的激光束、分光镜透射的激光束分别反射至第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组，经第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组与移动直角反射镜组之间多次反射后，最终将两束激光反射至聚光透镜；/n聚光透镜，用于接收移动直角反射镜组反射的两束激光束，并将两束激光束透射至光电探测器上；/n光电探测器，设置于聚光透镜的焦点位置，用于接收聚光透镜透射的激光束。/n
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