[发明专利]转移系统在审
| 申请号： | 201911012054.9 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN111088482A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 林琮闵;简芳记;吕超波;黄正义 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 任芸芸;郑特强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供一种转移系统。转移系统包括一真空腔室、一轴以及一真空旋转馈通。真空腔室耦接至一处理腔室。轴耦接至一滚珠螺杆，且滚珠螺杆以及轴配置在真空腔室中。真空旋转馈通包括一磁流体轴封，以提供一高真空密封，其中真空旋转馈通配置成通过真空腔室的一第一端并耦接至滚珠螺杆，以对滚珠螺杆提供一旋转运动。 | ||
| 搜索关键词： | 转移 系统 | ||
【主权项】：
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