[发明专利]MEMS镜特性的监控有效
| 申请号： | 201911012326.5 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN111090086B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | H·范利罗普;A·赫尔斯科;J·维赫根 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/497 | 分类号： | G01S7/497;G01S7/481 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及MEMS镜特性的监控，具体提供了用于监控微机电系统(MEMS)振荡结构的特性的系统和方法。一种系统包括：MEMS振荡结构，被配置为非线性谐振器，以围绕旋转轴振荡；驱动器，被配置为根据操作响应曲线来生成用于驱动MEMS振荡结构围绕旋转轴的驱动力，在此期间MEMS振荡结构处于谐振，驱动器还被配置为当MEMS振荡结构处于预定倾斜角时降低驱动力，以诱发MEMS振荡结构的振荡衰减；测量电路，被配置为测量MEMS振荡结构在衰减周期期间的振荡频率和倾斜角幅度；以及处理电路装置，被配置为基于测量的振荡频率和测量的倾斜角幅度中的至少一个来确定MEMS振荡结构的至少一个特性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 特性 监控 | ||
【主权项】：
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