[发明专利]载置台装置和处理装置在审
| 申请号： | 201911012343.9 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN111101109A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 中川西学;铃木直行;居本伸二;横原宏行;山形基;前田幸治 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54;C23C14/34;C23C14/16;H01L43/12;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够在将所载置的基板冷却成极低温的状态下使该基板旋转且冷却性能较高的载置台装置和处理装置。载置台装置具备：载置台，其在真空容器内保持被处理基板；冷冻传导体，其以与载置台隔着间隙的方式固定配置于载置台的背面侧，被冷冻机冷却成极低温；冷却流体，其向间隙供给，用于将冷冻传导体的冷能向载置台传导；载置台支承部，其将载置台支承成能够旋转，呈覆盖冷冻传导体的上部的圆筒状，并且具有真空绝热构造；以及旋转部，其支承载置台支承部，在被磁性流体密封着的状态下被驱动机构驱动而旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 装置 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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