[发明专利]双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备在审
| 申请号： | 201911015066.7 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN110592549A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王晋峰 | 申请（专利权）人： | 南京爱思菲瑞克光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210046 江苏省南京市栖霞区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备，包括真空工作室，真空工作室内设有可三维移动的磁控溅射阴极，真空工作室采用卧式结构，双门侧开，一面大门用于三维移动机构的安装维护，另一面大门设有用于镜片移动装置。该系统光学元件垂直放置，可避免光学镜面真空增材制造过程中灰尘落于光学镜面表面而影响成材质量，同时可避免灰尘沉积于磁控溅射阴极而形成的打火放电问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光学镜面 磁控溅射阴极 真空工作室 卧式结构 双门 三维移动机构 安装维护 垂直放置 放电问题 灰尘沉积 镜片移动 三维移动 系统光学 制造过程 大门 侧开 打火 数控 室内 | ||
【主权项】：
1.双门卧式结构光学镜面真空数控增材设备，其特征在于：包括真空工作室(4)，真空工作室(4)内设有三维移动的磁控溅射阴极系统(5)，真空工作室(4)采用卧式结构，双门侧开，左侧大门(1)用于三维移动机构的安装维护，右侧大门(2)设有用于镜片移动装置(3)的移动调整；/n所述镜片移动装置(3)包括镜面烘烤系统(31)、镜面翻转系统(32)、镜面旋转系统(33)与镜面装夹定位系统(34)；所述烘烤系统位于镜面翻转系统(32)的一侧，所述镜面旋转系统(33)安装在右侧大门(2)的一侧，所述镜面装夹定位系统(34)安装在右侧大门(2)的的另一侧。/n
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